日本加野 MODEL 3950 微粒子計(jì)數(shù)器Particle Counter
重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)
雙通道: 0.1um0.3um
額定流量:2.83umin
通過實(shí)現(xiàn)超小型化設(shè)計(jì),使粒子計(jì)數(shù)器嵌入裝置設(shè)備成為可
0.1 um測量
4.3英寸彩色液晶
標(biāo)配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度輕量化
以往的尺寸很難嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中,
本產(chǎn)品通過壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設(shè)備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?br>
應(yīng)用范圍
作為傳感器嵌入到設(shè)備裝置中
潔凈室的清潔度管理
高清潔度區(qū)域的管理
日本加野 MODEL 3950 微粒子計(jì)數(shù)器Particle Counter
測試方法
|
光散亂
|
粒徑區(qū)分
|
2粒徑(0.1,0.3um)
|
額定流量
|
0.1CFM(2.83L/分)精度士(符合JIS B9921 和 1$021501-4)
|
測量時間
|
6秒~99分59秒(1次測量時間)
|
間隔時間
|
6秒~99分59秒(測量周期)
|
采樣次數(shù)
|
1~999回或 連續(xù)測試
|
地點(diǎn)區(qū)分
|
99個地點(diǎn)
|
測量格式
|
重復(fù),單次,連續(xù),計(jì)算,1S0,GB*(共6種模式)
|
測量數(shù)據(jù)顯示時間
|
1~10秒
|
測量數(shù)據(jù)顯示
|
計(jì)數(shù)累計(jì)值三,超過設(shè)定設(shè)定值時蜂鳥器報警
|
*大可測濃度
|
10,000,000個m
|
計(jì)數(shù)效率
|
50土20%(相對于*小可測粒徑附近的標(biāo)準(zhǔn)粒子)
100士108(相對于*小可測粒徑的1.5倍-2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921和1S021501-4)
|
偽計(jì)數(shù)
|
1/35min 以下
|
粒徑分解能
|
15%以下(相對0.3um的PSL粒子)
(符合JIS B9921和 IS021501-4)
|
采樣源
|
自帶泵
|
顯示器
|
4.3英寸彩色液品,觸摸屏顯示器
|
記錄媒體
|
本體:USB(Host可對于打印機(jī),USB內(nèi)存使用,、Device可對于鏈接PC使用)Ethernet.RS485(9600,19200,38400
baud)
媒體:內(nèi)存
記錄數(shù)、格式:*大10,000個,CSV格式
|
顯示語言
|
英語,日語
|
電源
|
AC 100~240 V
|
使用環(huán)境
|
15~35'C,0~85%RH(無冷凝)
|
外形尺寸
|
W150 X H163 X D228 mm
|
重量
|
3.4kg
|
